STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM 3000的技术积累及成功经验，在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造；支持PSM、Binary 掩模检测，适配 ArF 与 KrF对应的技术节点。

应用场景

为Mask shop及晶圆制造提供高效的Reticle检测方案

关键特性

• 基于深紫外DUV激光的超高分辨率光学系统

• 支持反射光、透射光同时检测

• 支持DD、SL、DB检测模式

• 支持RSP 150/200片盒

• 支持GDS、OASIS、MEBES文件格式

• 支持OPC图形检测

• 支持GPU分布式计算