Tornado 2100是维普推出针对晶圆全自动光学关键尺寸及套刻测量设备，基于高分辨率的光学成像系统，进一步提升图形对比度以及减少过渡像素。搭配高性能的运动台，提高测量过程中定位效率，减少稳态抖动，以满足测量重复性的苛刻要求。Tornado 2100可用于前道制程中的关键尺寸及套刻精度的测量。

应用场景

针对4、6、8寸晶圆前道关键尺寸及套刻精度测量。

关键特性

同时兼容4、6、8寸Wafer，灵活方便

支持基于Recipe的自动测量

支持白光、RGB、UV多种波长照明及光学系统

支持灰度阈值、灰度变化率、直线拟合等多种线宽测量方法

多持非线性补偿功能

支持低对比度下的线宽测量