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产品简介
STORM 2000SLV是维普针对于大尺寸Mask 基板开发的缺陷检测设备，适用于抛光板、铬板、均胶板中颗粒、针孔、脏污的检测。采用先进的光学系统，通过一次扫描可完成颗粒、针孔的识别检测。针对Mask Blank基板厂商，具备高精度、高效率、易使用等重大优势。
关键特性
可兼容RSP200、Nikon Case、水晶盒的开盒与自动上下板
基于明场+暗场的检测方式
pellicle面、glass面、膜框内外部检测区域可灵活设置
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