STORM 3000®是维普第三代IC Mask缺陷检测产品，经过数年不断测试与持续改进，STORM 3000已取得业界头部客户的评估认可。STORM 3000基于先进的激光成像技术与高灵敏度的软件算法，可具备DB、DD、SL等检测模式，适用于Mask Shop、FAB对光罩生产过程、出货及定期检测的需求，具有高精度、高效率、易使用等重大优势。

应用场景

为Mask shop及晶圆制造提供高效的Reticle检测方案。

关键特性

• 基于UV激光的超高分辨率光学系统

• 支持反射光、透射光同时检测

• 支持DD、SL、DB检测模式

• 支持SMIF Pod、Nikon CASE、Canon CASE及Shipping Box等片盒

• 支持GDS、OASIS、MEBES文件格式

• 支持OPC校正

• 支持GPU分布式计算